PD-BVC类钻膜机-DLC简介及规格-Diamond Like Carbon

DLC技术於1970年代初期被发展出来，是Diamond Like Carbon (类钻碳)的简称，本质是一种含氢的非晶质碳膜，特性接近於高硬度的金刚石。

DLC为类石墨键(Graphite-Like Bond or sp2)及类金刚石键(Diamond-Like Bond or sp3)所结合的非晶质碳薄膜..LC又称为无晶金刚石(a-D)，另一种DLC内含大量氢，称为氢化DLC(a-c:H)。

PD-BVC类钻膜机
  • PECVD详细报告
  • PD-BVC类钻膜机规格表
    项目 新机台 原机台
    腔体大小 Φ1200x1000 mm Φ1000x800 mm
    有效镀膜空间 Φ1000x800 mm Φ800x600 mm
    抽真空时间 20 min 1.5 hr
    破真空时间 0.2 min 5 min
    Batch 时间 2 hr 3.5 hr
    退镀膜功能 兼具退膜功能 无此功能
    退膜所需时间 0.5 hr 6 hr(另购原厂专用退膜机)
    额外氮气消耗 0 3大桶/每月
    腔体内挡板快拆 5 min 30 min
    镀膜品质 电离子加速空间较大，镀膜品质较佳 相对次之
    机台结构 易改装，易维修 不易改装，不易维修

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