PD-BVC类钻膜机-DLC工作及镀膜原理

  • PECVD工作原理：
    • 腔体内有上下两块电极，工件置於下面的电极基板之上，电极基板加热至100°C~400°C之间。
    • 在二电极板间外加一个高频的射频(radio frequency，RF)电压，此时在二极间会有辉光放射的现象。
    • 反应气体则是由沈积腔外缘处导入，流动通过辉光放射区域，而在沈积腔中央处由真空帮浦加以排出。
    • 工作原理示意图
      PECVD工作原理
  • 类钻碳膜(DLC)原理：
    • 电浆辅助化学反应气相镀膜(PECVD)
    • 乙炔气体＋电磁波→类钻碳膜(DLC)
    • 类钻碳膜(DLC)原理示意图
      类钻碳膜(DLC)原理

最新消息